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扩散泵抽气系统常见的故障及其排除措施
2024-09-26
如果扩散泵抽气系统不漏气,而系统的极限压力却一直达不到预想的结果,则可能是系统设计不合理,有效抽速低;或真空规电极放气和真空规本身受光电流的限制,测不出低压力。
扩散泵的泵体特点
2024-09-25
对于一般的扩散泵,泵体多做成直筒型;对于大型泵,也有用锥筒形或凸腔形泵体。由于圆筒形泵体便于加工,所以目前应用较多。
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